JB/T10439-2004单晶炉TDR系列直拉法单晶炉

本标准规定了对TDR系列直拉法单晶炉的各项要求，包括品种规格、技术要求、试验方法、检验规则及订购和供货等。本标准适用于直拉法拉制半导体硅、锗等单晶的单晶炉。

标准号：JB/T 10439-2004

标准名称：单晶炉 TDR系列直拉法单晶炉

英文名称：Crystal growing furnaces TDR-series crystal growing furnaces by Czochralski method

标准类型：行业标准

标准性质：推荐性

标准状态：现行

发布日期：2004-03-12

实施日期：2004-08-01

中国标准分类号（CCS）：电工>>电气设备与器具>>K61工业电热设备

国际标准分类号（ICS）：机械制造>>工业炉>>2518010电炉

起草单位：西安理工大学晶体生长设备研究所

归口单位：全国工业电热设备标委会

发布单位：国家发展和改革委员会