JB/T12067-2014TDL-GX硅芯生长炉
本标准规定了对TDL-GX 硅芯生长炉产品的型号品种规格、技术要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输、存储以及定购和供货等。本标准适用于高频感应加热，采用基座法生长硅基发热载体的设备。
标准号：JB/T 12067-2014
标准名称：TDL-GX 硅芯生长炉
标准类型：行业标准
标准性质：推荐性
标准状态：现行
发布日期：2014-07-09
实施日期：2014-11-01
发布单位：工业和信息化部
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