SJ/T10478-1994磁控溅射设备通用技术条件
标准号：SJ/T 10478-1994
标准名称：磁控溅射设备通用技术条件
英文名称：General specification for magnetic sputtering equipment
标准类型：行业标准
标准性质：推荐性
标准状态：现行
发布日期：1994-04-11
实施日期：1994-10-01
中国标准分类号（CCS）：医药、卫生、劳动保护>>医药、卫生、劳动保护综合>>C01技术管理
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