SJ/T10535-1994半导体器件用钨舟

本标准规定了半导体器件用钨舟的牌号、型号、规格、技术要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输及贮存。本标准适用于耐高温、高纯度、高密度的钨板(片)材制作的各种形状的钨舟及工装舟皿。

标准号：SJ/T 10535-1994

标准名称：半导体器件用钨舟

英文名称：Tungsten boat for semiconductor devices

标准类型：行业标准

标准性质：推荐性

标准状态：现行

发布日期：1994-08-08

实施日期：1994-12-01

中国标准分类号（CCS）：综合>>标准化管理与一般规定>>A01技术管理

起草单位：七四五厂、电子工业部标准化所

归口单位：电子工业部标准化研究所

发布单位：电子工业部