SJ/T11079-1996掩模对准曝光机通用技术条件

2025-06-28

标准号:SJ/T 11079-1996

标准名称:掩模对准曝光机通用技术条件

英文名称:General specification for mask alignment and exposure system

标准类型:行业标准

标准性质:推荐性

标准状态:现行

发布日期:1996-11-20

实施日期:1997-01-01

中国标准分类号(CCS):医药、卫生、劳动保护>>医药、卫生、劳动保护综合>>C01技术管理

替代以下标准:原标准号GB 11481-89

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