SJ/T11181-1998净化涂胶台通用规范

标准号：SJ/T 11181-1998

标准名称：净化涂胶台通用规范

英文名称：General specification for resist-coating stage with purified room

标准类型：行业标准

标准性质：推荐性

标准状态：现行

发布日期：1998-03-11

实施日期：1998-05-01

中国标准分类号（CCS）：医药、卫生、劳动保护>>医药、卫生、劳动保护综合>>C01技术管理

国际标准分类号（ICS）：电子学>>31020电子元件综合