SJ/T11487-2015半绝缘半导体晶片电阻率的无接触测量方法
本标准规定了半绝缘半导体晶片电阻率的非接触式测量方法。
标准号：SJ/T 11487-2015
标准名称：半绝缘半导体晶片电阻率的无接触测量方法
标准类型：行业标准
标准性质：推荐性
标准状态：现行
发布日期：2015-04-30
实施日期：2015-10-01
发布单位：工业和信息化部
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