SJ/T11516-2015薄膜晶体管（TFT）用掩模版规范

主要技术内容包括：1、产品分类；2、技术要求：包括环境要求、材料要求、外观尺寸要求、图形尺寸要求、外观要求、缺陷要求；3、试验方法；4、检验规则；5、标志、包装、运输和储存。

标准号：SJ/T 11516-2015

标准名称：薄膜晶体管（TFT）用掩模版规范

标准类型：行业标准

标准性质：推荐性

标准状态：现行

发布日期：2015-04-30

实施日期：2015-10-01

发布单位：工业和信息化部