SJ/T31079-1994正、负胶显示影机、匀胶机完好要求和检查评定方法

标准号：SJ/T 31079-1994

标准名称： 正、负胶显示影机、匀胶机完好要求和检查评定方法

英文名称：Requirements of readiness and methods of inspection and assessment for negative/positive resist developers and spin coaters

标准类型：行业标准

标准性质：推荐性

标准状态：现行

中国标准分类号（CCS）：L97

国际标准分类号（ICS）：31-550