SJ/T31096-1994精密硅片磨床完好要求和检查评定方法

标准号:SJ/T 31096-1994
标准名称: 精密硅片磨床完好要求和检查评定方法
英文名称:Readiness requirements and methods of inspection and assessment for high-precision silicon wafer grinding machines
标准类型:行业标准
标准性质:推荐性
标准状态:现行
中国标准分类号(CCS):L97
国际标准分类号(ICS):31-550
