SJ/T31096-1994精密硅片磨床完好要求和检查评定方法

2025-06-28

标准号:SJ/T 31096-1994

标准名称: 精密硅片磨床完好要求和检查评定方法

英文名称:Readiness requirements and methods of inspection and assessment for high-precision silicon wafer grinding machines

标准类型:行业标准

标准性质:推荐性

标准状态:现行

中国标准分类号(CCS):L97

国际标准分类号(ICS):31-550

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