光电子能谱仪（photoelectron spectrograph）是利用光电效应测出光电子的动能及其数量的关系，由此来判断样品表面各种元素含量的仪器。可分析固、液、气样品中除氢以外的一切元素。

主要用途

1、XPS测定

2、XPS成象

3、深度剖析

4、微区分析

5、角分辨XPS

可应用于各种固体材料表面（界面）的元素及化学态的定性、半定量、结构分析及化学键研究。