平整度测试系统，采用光学方法测量晶圆、蓝宝石、Sic、Si、玻璃等材质的表面特征，在无需任何接触的情况下测量厚度、TTV、LTV、弯曲度、平整度等，可在线和离线测量。

部分技术指标

TTV精确度：±0.1um重复性精度：0.01um厚度精确度：±0.2um重复性精度：0.1um测试范围：50-2000um翘曲度/弯曲度精确度：0.5um重复性精度：0.2um测试范围：200um整机参数测量时间：<100秒测量尺寸：8寸尺寸：550*602*291mm整机功率：800W

仪器特点

厚度、TTV、LTV、翘曲度、弯曲度、平坦度测量；无接触测量；无需校准；高精度、高重复性；样品台可选：4寸、6寸、8寸；强大的分析软件，可显示3D表面形貌；同时进行各种参数的测量，具备超高的测试速度；