激光干涉仪的技术参数

激光干涉仪，以激光波长为已知长度，利用迈克耳逊干涉系统测量位移的通用长度测量。

5D/6D标准型：

1 线性：05ppm

2 测量范围：40米（1D可选80米）

3 线性分辨力：0001um

4 偏摆角和俯仰角的精度：（10+01/m）角秒或1%显示较大值

5 范围：800角秒

6 滚动角精度：10角秒

7 直线度精度：（10+02/m）um或1%显示较大值

8 直线度范围：500um

9 垂直度精度：1角秒

10 温度精度：02摄氏度

11湿度精度：5%

12压力精度：1mmHg