扫描电子显微镜的维护保养方法

?~10 Pa)。
3.探测器维护
-清洁探测器:背散射电子(BSE)和二次电子(SE)探测器需定期用氮吹或软毛刷清除表面灰尘,防止信号干扰。
-校准增益:每月通过标准样品(如金膜)调整探测器灵敏度,避免因污染导致图像对比度下降。
二、定期维护
1.电子*保养
-灯丝更换:钨灯丝寿命约100~200小时,场发射*(FEG)的肖特基灯丝寿命约1000~2000小时。灯丝饱和后应及时更换,避免因灯丝断裂导致电子*损坏。
-对中调整:每半年进行一次电子*对中(Alignment),确保电子束聚焦,避免图像漂移或像散。
2.冷凝泵维护
-除水操作:SEM停机后,冷凝泵(如低温冷台)可能吸附空气中的水分,需定期启动抽真空功能以去除水汽,防止结冰堵塞管路。
-清洁冷台:每月用酒精擦拭冷台表面,去除冰霜或样品残留。
3.软件与硬件升级
-控制系统更新:每年检查设备固件版本,及时安装厂商提供的补丁程序,修复潜在漏洞。
-硬件检测:每季度检查电磁屏蔽、接地线路和高压电缆,防止电磁干扰或漏电风险。
三、环境控制
1.温湿度管理
-实验室温度需保持在18~25℃,湿度≤60%RH。高温可能导致电子元件老化,高湿度易引发电路腐蚀。
-配备独立空调和除湿机,避免设备周围放置热源(如离心机)或水源。
2.防尘与防震
-SEM应放置在远离门窗、通风口的位置,减少空气流动带来的灰尘。建议安装空气净化器(HEPA滤网)。
-设备需置于防震台上,避免外界振动影响电子束稳定性(如附近设备运行时的震动传递)。
3.电源稳定性
-使用不间断电源(UPS)和稳压器,防止电压波动(±10%)损坏精密电路。突然断电可能造成电子*过热烧毁或数据丢失。
四、操作规范
1.开关机流程
-开机:先开循环水机(冷却电子*),再依次启动机械泵、分子泵,后开启高压和探测器。
-关机:先降高压、关闭探测器,再依次关闭分子泵、机械泵,后关循环水机。强行断电可能损坏真空泵或导致灯丝过热。
2.样品处理
-预处理:样品需干燥(尤其是含水分的生物样本),并用导电胶或镀膜(如金镀层)处理,避免电荷积累损坏探测器。
-尺寸限制:样品高度不得超过样品台承载范围(通常≤10 mm),避免碰撞电子柱。
3.参数设置
-避免长时间使用高加速电压(>20 kV)或大探针电流,可能导致灯丝过度损耗或样品过热。
-定期校准工作距离(通常5~10 mm),确保电子束与样品表面垂直。
五、常见故障与处理
1.真空度不足
-原因:泵油污染、管路漏气或阀门失效。
-处理:检查密封圈是否老化,清洗或更换真空泵,必要时用氦质谱仪检漏。
2.图像畸变或模糊
-原因:电子*污染、电磁干扰或探测器增益失调。
-处理:清洁镜筒内壁,检查接地线路,重新校准探测器。
3.突发断电或死机
-处理:立即关闭高压电源,重启设备后检查灯丝状态。若灯丝断裂需更换,数据丢失则需重新采样。
综上所述,以上是扫描电子显微镜的维护保养,涵盖设备维护、环境控制、操作规范及常见故障处理等方面,供参考!
