真空镀膜机的相关维护

真空镀膜机是相关企业、研究所、大专院校进行生产和科研的理想设备。

用户在使用时需要按照正确的方法对其进行维护，这样才能确保设备的使用寿命，提高工作效率。

维护内容如下：

①保护设备正常工作的必要条件。

②工件环境温度不得高于40℃。

③工件环境相对湿度不得大于90%。

④冷却水进水温度不得高于25℃，水压不得低于02Mpa，供气压力06Mpa，工作压力04～05MPa。

⑤设备及工作环境必须清洁。

⑥使用电阻蒸发和烘烤时必须通冷却水。

⑦蒸发材料应预先除气。

⑧进行离子轰击时，蒸发室的真空度必须在10～1Pa范围内；

否则蒸发室的气体电离所产生的电流，使工件烘烤电源有短路的危险，因此离子轰击与工件烘烤不能同时进行。

⑨当电源或机械泵发生故障时，应立即停机，关闭高真空阀。

⑩定期检查机、电各部份工作情况。