JJF1916-2021扫描电子显微镜校准规范

本规范适用于扫描电子显微镜的校准。

标准号：JJF 1916-2021

标准名称：扫描电子显微镜校准规范

英文名称：Calibration Specification for Scanning Electronic Microscopes (SEM)

标准类型：国家标准

标准状态：现行

发布日期：2021-07-28

实施日期：2022-01-28

替代以下标准：替代JJG 550-1988

起草单位：中国计量科学研究院

归口单位：全国几何量长度计量技术委员会

发布单位：国家市场监督管理总局