JJF1351-2012扫描探针显微镜校准规范

本规范适用于以几何表面形貌为测量对象的扫描探针显微镜的校准。扫描探针显微镜根据其设计原理不同,校准时需要根据实际情况选择相关的计量特性。对有特殊要求的测量任务,如对溯源要求较高的测量,不在本校准规范的适用范围。

标准号：JJF 1351-2012

标准名称：扫描探针显微镜校准规范

英文名称：Calibration Specification for Scanning Probe Microscopes

标准类型：国家标准

标准状态：现行

发布日期：2012-06-18

实施日期：2012-09-18

起草单位：中国航空工业集团公司北京长城计量测试技术研究所、上海计量测试技术研究院、贵州计量测试院等

归口单位：全国几何量长度计量技术委员会

发布单位：国家质量监督检验检疫