GB9506.6-1988掺氮吸气剂钡膜分布测试方法

本标准规定了掺氮吸气剂钡膜分布测试方法，适用于测定沉积在模拟玻壳颈、锥、屏上钡膜的重量分布和锥、屏上钡膜的厚度分布。测试方法应符合GB 95061《吸气剂性能测试方法通则》中的有关规定。

标准号：GB 95066-1988

标准名称：掺氮吸气剂钡膜分布测试方法

英文名称：Test method for barium film distribution of nitrogen-doped getter

标准类型：国家标准

标准性质：强制性

标准状态：作废

发布日期：1988-06-25

实施日期：1988-01-02

中国标准分类号（CCS）：电子元器件与信息技术>>电子设备专用材料、零件、结构件>>L90电子技术专用材料

国际标准分类号（ICS）：31030

替代以下标准：SJ 2162-1982;被GB/T 25495-2010代替

起草单位：电子部741厂

归口单位：全国半导体材料和设备标准化技术委员会

发布单位：国家标准化管理委员会