GB9506.5-1988掺氮吸气剂释氮吸气动态曲线测试方法

2025-06-28

本标准规定了掺氮吸气剂释氮吸气动态曲线的测试方法,适用于掺氮吸气剂蒸散工艺过程中的释氮吸气动态曲线的测试。测试方法应符合GB 95061《吸气剂性能测试方法通则》中的有关规定。

标准号:GB 95065-1988

标准名称:掺氮吸气剂释氮吸气动态曲线测试方法

英文名称:Test method for nitrogen-released and gas-absorbed dynamic curve of nitrogen-doped getter

标准类型:国家标准

标准性质:强制性

标准状态:作废

发布日期:1988-06-25

实施日期:1988-01-02

中国标准分类号(CCS):电子元器件与信息技术>>电子设备专用材料、零件、结构件>>L90电子技术专用材料

国际标准分类号(ICS):31030

替代以下标准:被GB/T 25497-2010代替

起草单位:上海电子管二厂

归口单位:全国半导体材料和设备标准化技术委员会

发布单位:国家标准化管理委员会

GB9506.4-1988吸气剂放气量测试方法
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