GB6623-1986硅抛光片表面热氧化层错的测试方法

2025-06-28

标准号:GB 6623-1986

标准名称:硅抛光片表面热氧化层错的测试方法

标准类型:国家标准

标准性质:强制性

标准状态:作废

实施日期:1987-07-01

中国标准分类号(CCS):冶金>>金属理化性能试验方法>>H26金属无损检验方法

替代以下标准:被GB/T 4058-1995代替

GB6624-1986硅抛光片表面质量目测检验方法
GB6622-1986硅化学抛光片漩涡缺陷和条纹的测试方法
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