GB6621-1986硅抛光片表面平整度的非接触式测试方法

标准号：GB 6621-1986

标准名称：硅抛光片表面平整度的非接触式测试方法

标准类型：国家标准

标准性质：强制性

标准状态：作废

实施日期：1987-07-01

中国标准分类号（CCS）：冶金>>金属理化性能试验方法>>H26金属无损检验方法

替代以下标准：被GB/T 6621-1995代替