GB6619-1986硅片弯曲度的接触式测试方法

2025-06-28

标准号:GB 6619-1986

标准名称:硅片弯曲度的接触式测试方法

标准类型:国家标准

标准性质:强制性

标准状态:作废

实施日期:1987-07-01

中国标准分类号(CCS):冶金>>金属理化性能试验方法>>H26金属无损检验方法

替代以下标准:被GB/T 6619-1995代替

GB6620-1986硅片翘曲度的非接触式测试方法
GB6618-1986硅片厚度和总厚度变化的测试方法
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