GB4298-1984半导体硅材料中杂质元素的活化分析方法

本标准适用于单晶硅、多晶硅中金属杂质素和非金属杂质素含量的测定。本标准包括杂质素（十六个）的反应堆中子活化仪器分析方法、铜和砷的反应堆中子活化放射化分离分析方法、磷的反应堆中子活化放射化分离分析方法、氧的α粒子活化仪器分析方法和碳的氘子活化仪器分析方法。

标准号：GB 4298-1984

标准名称：半导体硅材料中杂质元素的活化分析方法

英文名称：The activation analysis method for the determination of elemental impurities in semiconductor silicon materials

标准类型：国家标准

标准性质：强制性

标准状态：现行

发布日期：1984-03-28

实施日期：1985-03-01

中国标准分类号（CCS）：冶金>>金属化学分析方法>>H17半金属及半导体材料分析方法

国际标准分类号（ICS）：2904030

替代以下标准：废止公告：国家标准公告2017年第31号

起草单位：有色金属研究总院

归口单位：中国有色金属工业协会

发布单位：国家标准局