GB11481-1989掩模对准曝光机通用技术条件

标准号：GB 11481-1989

标准名称：掩模对准曝光机通用技术条件

标准类型：国家标准

标准性质：强制性

标准状态：作废

实施日期：1990-03-01

中国标准分类号（CCS）：仪器、仪表>>光学仪器>>N38光学设备

替代以下标准：调整为SJ/T 11079-1996