GB11164-1989真空镀膜设备通用技术条件

标准号：GB 11164-1989

标准名称：真空镀膜设备通用技术条件

标准类型：国家标准

标准性质：强制性

标准状态：作废

实施日期：1990-05-01

中国标准分类号（CCS）：仪器、仪表>>实验室仪器与真空仪器>>N60实验室仪器与真空仪器综合

替代以下标准：被GB/T 11164-1999代替