GB/T6624-1995硅抛光片表面质量目测检验方法

本标准规定了在一定光照条件下，用目测检验硅单晶单面抛光片表面质量的方法。本标准适用于硅抛光片表面质量检验。

标准号：GB/T 6624-1995

标准名称：硅抛光片表面质量目测检验方法

英文名称：STANDARD method for measuring the surface quality of polished silicon slices by visual inspection

标准类型：国家标准

标准性质：推荐性

标准状态：作废

发布日期：1995-04-18

实施日期：1995-01-02

中国标准分类号（CCS）：冶金>>金属理化性能试验方法>>H21金属物理性能试验方法

国际标准分类号（ICS）：2904030

替代以下标准：替代GB 6624-1986;被GB/T 6624-2009代替

起草单位：电子部标准化所

归口单位：全国半导体材料和设备标准化技术委员会

发布单位：国家技术监督局