GB/T39159-2020集成电路用高纯铜合金靶材

本标准规定了集成电路用高纯铜合金靶材（以下简称靶材）的分类、技术要求、试验方法、检验规则及标志、包装、运输、贮存、质量证明书和订货单（或合同）内容。本标准适用于集成电路制造用的高纯铜铝（CuAl）合金靶材和高纯铜锰（CuMn）合金靶材。

标准号：GB/T 39159-2020

标准名称：集成电路用高纯铜合金靶材

英文名称：High purity copper alloy target for integrated circuit

标准类型：国家标准

标准性质：推荐性

标准状态：现行

发布日期：2020-11-19

实施日期：2021-10-01

中国标准分类号（CCS）：冶金>>有色金属及其合金产品>>H62重金属及其合金

国际标准分类号（ICS）：冶金>>有色金属产品>>7715030铜产品

起草单位：宁波江丰电子材料股份有限公司、有研亿金新材料有限公司、宁波微泰真空技术有限公司

归口单位：全国有色金属标准化技术委员会(SAC/TC 243)

发布单位：国家市场监督管理总局