GB/T38867-2020电子工业用四氯化硅

本标准规定了电子工业用四氯化硅的技术要求、检验规则、试验方法、标志、包装、运输、储存及安全的要求。本标准适用于工业四氯化硅精制提纯后的电子工业用四氯化硅。

标准号：GB/T 38867-2020

标准名称：电子工业用四氯化硅

标准类型：国家标准

标准性质：推荐性

标准状态：现行

发布日期：2020-07-21

实施日期：2021-02-01

国际标准分类号（ICS）：化工技术>>化工产品>>7110020工业气体

发布单位：国家市场监督管理总局