GB/T38616-2020纳米定位与扫描平台术语

本标准界定了纳米定位与扫描平台(以下简称平台)的术语定义。本标准适用于纳米定位与扫描平台产品参数的定义。

标准号：GB/T 38616-2020

标准名称：纳米定位与扫描平台术语

英文名称：Terminology for nano positioning and scanning stage

标准类型：国家标准

标准性质：推荐性

标准状态：现行

发布日期：2020-04-28

实施日期：2020-11-01

中国标准分类号（CCS）：仪器、仪表>>工业自动化仪表与控制装置>>N10工业自动化与控制装置综合

国际标准分类号（ICS）：综合、术语学、标准化、文献>>词汇>>0104039精密机械、珠宝 (词汇)

起草单位：沈阳建筑大学、三英精控(天津)仪器设备有限公司、广东工业大学、中国计量科学研究院、苏州昊通仪器科技有限公司、沈阳理工大学

归口单位：全国电子测量仪器标准化技术委员会(SAC/TC 153)

发布单位：国家市场监督管理总局