GB/T38614-2020基于柔性铰链机构和压电陶瓷驱动器的纳米定位与扫描平台测量方法

本标准规定了基于柔性铰链机构和压电陶瓷驱动器的纳米定位与扫描平台（以下简称为平台）的测量条件、测量系统和测量方法。本标准适用于平台的研究、设计、生产、检测及使用。

标准号：GB/T 38614-2020

标准名称：基于柔性铰链机构和压电陶瓷驱动器的纳米定位与扫描平台测量方法

英文名称：Measurement method for nano positioning and scanning stage based on flexure hinge mechanism and piezo actuator

标准类型：国家标准

标准性质：推荐性

标准状态：现行

发布日期：2020-04-28

实施日期：2020-11-01

中国标准分类号（CCS）：仪器、仪表>>工业自动化仪表与控制装置>>N10工业自动化与控制装置综合

国际标准分类号（ICS）：综合、术语学、标准化、文献>>词汇>>0104039精密机械、珠宝 (词汇)

起草单位：沈阳建筑大学、三英精控(天津)仪器设备有限公司、广东工业大学、中国计量科学研究院、苏州昊通仪器科技有限公司、沈阳理工大学

归口单位：全国电子测量仪器标准化技术委员会(SAC/TC 153)

发布单位：国家市场监督管理总局