GB/T38446-2020微机电系统（MEMS）技术带状薄膜抗拉性能的试验方法

本标准规定了带状薄膜抗拉性能的试验方法及数据处理。本标准适用于厚度在50 nm到数微米之间且长度和厚度的比值大于300的样品，也可用于MEMS产品带状薄膜结构的质量监控。

标准号：GB/T 38446-2020

标准名称：微机电系统（MEMS）技术 带状薄膜抗拉性能的试验方法

英文名称：Micro-electromechanical system technology—Test methods for tensile property measurement of strip thin films

标准类型：国家标准

标准性质：推荐性

标准状态：现行

发布日期：2020-03-06

实施日期：2020-10-01

中国标准分类号（CCS）：电子元器件与信息技术>>微电路>>L55微电路综合

国际标准分类号（ICS）：电子学>>31200集成电路、微电子学

起草单位：北京大学、中机生产力促进中心、北京智芯传感科技有限公司、无锡华润上华科技有限公司、中北大学、北京必创科技股份有限公司

归口单位：全国微机电技术标准化技术委员会(SAC/TC 336)

发布单位：国家市场监督管理总局