GB/T37030-2018电子级三甲基铟

2025-06-28

本标准规定了三甲基铟的技术要求、试验方法、检验规则、包装、标志、运输、储存和安全。本标准适用于铟镁合金法、三氯化铟法、格式试剂法三种化学合成法制备并经精制纯化的三甲基铟。该产品主要用于生长化合物半导体薄膜材料等。分子式:C3H9In相对分子质量:15992(按2013年国际相对原子质量计算)

标准号:GB/T 37030-2018

标准名称:电子级三甲基铟

英文名称:Electronic grade trimethylindium

标准类型:国家标准

标准性质:推荐性

标准状态:现行

发布日期:2018-12-28

实施日期:2019-04-01

中国标准分类号(CCS):化工>>其他化工产品>>G86工业气体与化学气体

国际标准分类号(ICS):化工技术>>化工产品>>7110020工业气体

起草单位:江苏南大光电材料股份有限公司、中国电子技术标准化研究院

归口单位:全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC 203)

发布单位:国家市场监督管理总局

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