GB/T36969-2018纳米技术原子力显微术测定纳米薄膜厚度的方法

本标准规定了使用原子力显微术（AFM)测量纳米薄膜厚度的原理、测试条件、设备、样品、测试步骤和数据处理。本标准适用于表面均匀、平整的纳米范围厚度的无机材料薄膜。较厚的和一些有机薄膜的膜厚测定也可参照执行。

标准号：GB/T 36969-2018

标准名称：纳米技术 原子力显微术测定纳米薄膜厚度的方法

英文名称：Nanotechnology—Method for the measurement of the nanofilm-thickness by atomic force microscopy

标准类型：国家标准

标准性质：推荐性

标准状态：现行

发布日期：2018-12-28

实施日期：2018-12-28

中国标准分类号（CCS）：机械>>机械综合>>J04基础标准与通用方法

国际标准分类号（ICS）：计量学和测量、物理现象>>长度和角度测量>>1704020表面特征

起草单位：上海交通大学、纳米技术及应用国家工程研究中心

归口单位：全国纳米技术标准化技术委员会(SAC/TC 279)

发布单位：国家市场监督管理总局