GB/T36705-2018氮化镓衬底片载流子浓度的测试拉曼光谱法

本标准规定了利用拉曼光谱测试N型氮化镓衬底片载流子浓度的方法。本标准适用于在蓝宝石、碳化硅、硅、氮化镓材料上生长的N型氮化镓衬底片载流子浓度的测试。

标准号：GB/T 36705-2018

标准名称：氮化镓衬底片载流子浓度的测试 拉曼光谱法

英文名称：王志、李刚、钟圣俊、孟宪卫、王新华、乐有邦、吴晓煜、张倩倩

标准类型：国家标准

标准性质：推荐性

标准状态：现行

发布日期：2018-09-17

实施日期：2019-06-01

中国标准分类号（CCS）：冶金>>金属理化性能试验方法>>H21金属物理性能试验方法

国际标准分类号（ICS）：冶金>>77040金属材料试验

起草单位：中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所、苏州纳维科技有限公司、中关村天合宽禁带半导体技术创新联盟、有色金属技术经济研究院、东莞市中镓半导体科技有限公司、中国电子技术标准化研究院

归口单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC 203)、全

发布单位：国家市场监督管理总局