GB/T36653-2018电子级三甲基铝

本标准规定了三甲基铝的技术要求、试验方法、检验规则、包装、标志、储存和安全。 本标准适用于烷基交换法、钠还原法三种化学合成法制备并经精制纯化的三甲基铝。该产品主要用于生长化合物半导体薄膜材料等。

标准号：GB/T 36653-2018

标准名称：电子级三甲基铝

英文名称：Electronic grade trimethylaluminium

标准类型：国家标准

标准性质：推荐性

标准状态：现行

发布日期：2018-09-17

实施日期：2019-01-01

中国标准分类号（CCS）：化工>>其他化工产品>>G86工业气体与化学气体

国际标准分类号（ICS）：化工技术>>化工产品>>7110020工业气体

起草单位：江苏南大光电材料股份有限公司、中国电子技术标准化研究院

归口单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC 203)

发布单位：国家市场监督管理总局