GB/T36646-2018制备氮化物半导体材料用氢化物气相外延设备

本标准规定了制备氮化物半导体材料用氢化物气相外延设备(以下简称“HVPE设备”）的产品分类和标记、工作条件、要求、检测方法、检验规则、标志、包装、运输和储存。本标准适用于制备直径508 mm~1524 mm氮化物半导体材料的HVPE设备。

标准号：GB/T 36646-2018

标准名称：制备氮化物半导体材料用氢化物气相外延设备

英文名称：Equipment for preparation of nitride semiconductor materials by hydride vapor phase epitaxy

标准类型：国家标准

标准性质：推荐性

标准状态：现行

发布日期：2018-09-17

实施日期：2019-01-01

中国标准分类号（CCS）：电子元器件与信息技术>>电子工业生产设备>>L95电子工业生产设备综合

国际标准分类号（ICS）：电子学>>31220电子电信设备用机电零部件

起草单位：东莞市中镓半导体科技有限公司、中国电子技术标准化研究院

归口单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC 203)

发布单位：国家市场监督管理总局