GB/T34971-2017半导体制造用气体处理指南

本标准规定了半导体制造用气体排放系统的原理及技术。 本标准适用于半导体制造用气体的处理。

标准号：GB/T 34971-2017

标准名称：半导体制造用气体处理指南

标准类型：国家标准

标准性质：推荐性

标准状态：现行

发布日期：2017-11-01

实施日期：2018-05-01

国际标准分类号（ICS）：化工技术>>分析化学>>7104040化学分析

发布单位：国家质量监督检验检疫