GB/T34972-2017电子工业用气体中金属含量的测定电感耦合等离子体质谱法

本标准规定了应用电感耦合等离子体质谱仪测定电子工业用气体中金属元素含量的方法。 本标准适用的电子工业用气体种类：氧、氮、氩、氦、氢、氨、氯化氢、硅烷、高纯氯、六氟化硫、三氯化硼、三氟化氮、氧化亚氮、六氟乙烷、六氟丁二烯等气体。 本标准适用的电子工业用气体取样状态：气态。

标准号：GB/T 34972-2017

标准名称：电子工业用气体中金属含量的测定 电感耦合等离子体质谱法

标准类型：国家标准

标准性质：推荐性

标准状态：现行

发布日期：2017-11-01

实施日期：2018-05-01

国际标准分类号（ICS）：化工技术>>分析化学>>7104040化学分析

发布单位：国家质量监督检验检疫