GB/T34178-2017光掩模石英玻璃基板

本标准规定了光掩模石英玻璃基板（以下简称石英玻璃基板)的术语和定义、要求、试验方法、检验规则及标志、包装、运输和贮存。本标准适用于半导体集成电路、光通讯、微机电系统（MEMS)、光电器件和发光二级管（LED)等光刻工艺中光掩模石英玻璃基板。

标准号：GB/T 34178-2017

标准名称：光掩模石英玻璃基板

英文名称：Silica glass substrates for photomask

标准类型：国家标准

标准性质：推荐性

标准状态：现行

发布日期：2017-09-07

实施日期：2018-08-01

中国标准分类号（CCS）：建材>>陶瓷、玻璃>>Q35石英玻璃

国际标准分类号（ICS）：玻璃和陶瓷工业>>玻璃>>8104030玻璃产品

起草单位：中国建材检验认证集团股份有限公司、中建材衢州金格兰石英有限公司、长沙韶光铬版有限公司、中国建筑材料科学研究总院、国家安全玻璃及石英玻璃质量监督检验中心

归口单位：全国工业玻璃和特种玻璃标准化技术委员会

发布单位：国家质量监督检验检疫