GB/T34085-2017电子工业用气体三氟甲烷

本标准规定了电子工业用三氟甲烷的技术要求，试验方法以及包装、标志、贮运及安全。本标准适用于以二氟一氯甲烷、三氯甲烷和氟化氢为原料制备的三氟甲烷产品。它在电子工业等离子蚀刻工艺中作为蚀刻气体。

标准号：GB/T 34085-2017

标准名称：电子工业用气体 三氟甲烷

英文名称：Gas for electronic industry—Trifluoromethane

标准类型：国家标准

标准性质：推荐性

标准状态：现行

发布日期：2017-07-31

实施日期：2017-11-01

中国标准分类号（CCS）：化工>>其他化工产品>>G86工业气体与化学气体

国际标准分类号（ICS）：化工技术>>化工产品>>7110020工业气体

起草单位：国家化学工业气体产品质量监督检验中心(福建)、广东华特气体股份有限公司、浙江巨化股份有限公司、高麦仪器公司、浙江省化工研究院、中昊光明化工研究设计院有限公司、大连大特气体有限公司、上海华爱色谱分析技术有限公司、东莞市联臣电子科技有限公司等

归口单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC 203)

发布单位：国家质量监督检验检疫