GB/T33826-2017玻璃衬底上纳米薄膜厚度测量触针式轮廓仪法

本标准规定了用触针式轮廓仪法测量玻璃衬底上纳米薄膜厚度的原理、仪器要求、试验环境、要求、步骤及测试报告等。?本标准适用于玻璃衬底上厚度在10 nm～1 000 nm范围内的纳米薄膜厚度测量，且薄膜与衬底之间存在或可刻蚀出台阶。其他硬质平面衬底可参考本标准执行。

标准号：GB/T 33826-2017

标准名称：玻璃衬底上纳米薄膜厚度测量 触针式轮廓仪法

英文名称：Measurement of nanofilm thickness on glass substrate —Profilometric method

标准类型：国家标准

标准性质：推荐性

标准状态：现行

发布日期：2017-05-31

实施日期：2017-12-01

中国标准分类号（CCS）：建材>>陶瓷、玻璃>>Q34工业技术玻璃

国际标准分类号（ICS）：化工技术>>分析化学>>7104099有关化学分析方

起草单位：中国建筑材料科学研究总院、漳州旗滨玻璃有限公司、宣城晶瑞新材料有限公司、冶金工业信息标准研究院

归口单位：全国纳米技术标准化技术委员会纳米材料分技术委员会(SAC/TC

发布单位：国家质量监督检验检疫