GB/T32814-2016硅基MEMS制造技术基于SOI硅片的MEMS工艺规范

本标准规定了采用SOI硅片进行MEMS器件加工时应遵循的工艺要求和质量检验要求。本标准适用于硅基MEMS制造技术中基于SOI硅片的MEMS器件的加工和质量检验。

标准号：GB/T 32814-2016

标准名称：硅基MEMS制造技术 基于SOI硅片的MEMS工艺规范

英文名称：Silicon-based MEMS fabrication technology—Specification for criterion of the SOI wafer based MEMS process

标准类型：国家标准

标准性质：推荐性

标准状态：现行

发布日期：2016-08-29

实施日期：2017-03-01

中国标准分类号（CCS）：电子元器件与信息技术>>微电路>>L55微电路综合

国际标准分类号（ICS）：电子学>>31200集成电路、微电子学

起草单位：西北工业大学、中机生产力促进中心

归口单位：全国微机电技术标准化技术委员会(SAC/TC 336)

发布单位：国家质量监督检验检疫