GB/T32815-2016硅基MEMS制造技术体硅压阻加工工艺规范

本标准规定了采用体硅压阻工艺进行MEMS器件加工时应遵循的工艺要求和质量检验要求。本标准适用于硅基MEMS制造技术中基于背腔腐蚀和硅合的体硅压阻加工工艺的加工和质量检验。

标准号：GB/T 32815-2016

标准名称：硅基MEMS制造技术 体硅压阻加工工艺规范

英文名称：Silicon-based MEMS fabrication technology—Specification for criterion of the bulk silicon piezoresistance process

标准类型：国家标准

标准性质：推荐性

标准状态：现行

发布日期：2016-08-29

实施日期：2017-03-01

中国标准分类号（CCS）：电子元器件与信息技术>>微电路>>L55微电路综合

国际标准分类号（ICS）：电子学>>31200集成电路、微电子学

起草单位：北京大学、中机生产力促进中心、大连理工大学、东南大学、北京青鸟元芯微系统科技有限公司

归口单位：全国微机电技术标准化技术委员会(SAC/TC 336)

发布单位：国家质量监督检验检疫