GB/T32188-2015氮化镓单晶衬底片x射线双晶摇摆曲线半高宽测试方法

本标准规定了利用双晶 X射线衍射仪测试氮化镓单晶衬底片摇摆曲线半高宽的方法。本标准适用于化学气相沉积及其他方法生长制备的氮化镓单晶衬底片。

标准号：GB/T 32188-2015

标准名称：氮化镓单晶衬底片x射线双晶摇摆曲线半高宽测试方法

英文名称：Test method for full width at half maximum of double crystal X-ray rocking curve of GaN single crystal substrate

标准类型：国家标准

标准性质：推荐性

标准状态：现行

发布日期：2015-12-10

实施日期：2016-11-01

中国标准分类号（CCS）：冶金>>金属理化性能试验方法>>H21金属物理性能试验方法

国际标准分类号（ICS）：冶金>>77040金属材料试验

起草单位：中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所、苏州纳维科技有限公司、中国科学院物理研究所、北京天科合达蓝光半导体有限公司、丹东新东方晶体仪器有限公司

归口单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC203)与全国

发布单位：国家质量监督检验检疫