GB/T31987-2015电子工业用气体锗烷

本标准规定了锗烷的技术要求、试验方法、标志、包装、贮运和安全。本标准适用于氯化锗还原、电解氧化锗的硫酸溶液、锗镁合金与盐酸反应等方法得到的锗烷产品。它用于化学试剂、制取高纯度锗、化学气相淀积、扩散、非晶硅、外延、离子注入等领域。分子式:GeH4。相对分子质量:76662(按2011年国际相对原子质量计算)。

标准号：GB/T 31987-2015

标准名称：电子工业用气体 锗烷

英文名称：Gas for electronic industry—Germane

标准类型：国家标准

标准性质：推荐性

标准状态：现行

发布日期：2015-09-11

实施日期：2016-05-01

中国标准分类号（CCS）：化工>>其他化工产品>>G86工业气体与化学气体

国际标准分类号（ICS）：化工技术>>化工产品>>7110020工业气体

起草单位：上海华爱色谱分析技术有限公司、佛山市华特气体有限公司、中昊光明化工研究设计院有限公司、国家化学工业气体产品质量监督检验中心(福建)、西南化工研究设计院有限公司

归口单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC203)

发布单位：国家质量监督检验检疫