GB/T31472-2015X光电子能谱中荷电控制和荷电基准技术标准指南

本标准规定了 X射线光电子能谱(XPS)的荷电控制和荷电基准技术。本标准适用于 XPS荷电控制和荷电定位技术,不适用于其他电子激发系统。

标准号：GB/T 31472-2015

标准名称：X光电子能谱中荷电控制和荷电基准技术标准指南

英文名称：Standard guide to charge control and charge referencing techniques in X-ray photoelectron spectroscopy

标准类型：国家标准

标准性质：推荐性

标准状态：现行

发布日期：2015-05-15

实施日期：2016-01-01

中国标准分类号（CCS）：仪器、仪表>>电工仪器仪表>>N26综合测试系统

国际标准分类号（ICS）：计量学和测量、物理现象>>电学、磁学、电和磁的测量>>1722020电和磁量值的测量

起草单位：信息产业专用材料质量监督检验中心、中国电子技术标准化研究院、苏州晶瑞化学有限公司、天津中环领先材料技术有限公司

归口单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC203)

发布单位：国家质量监督检验检疫