GB/T31227-2014原子力显微镜测量溅射薄膜表面粗糙度的方法

本标准规定了使用原子力显微镜(AFM)测量表面粗糙度的方法。本标准适用于测量溅射成膜方法生成的、平均粗糙度Ra 小于100nm 的薄膜。其他非溅射薄膜的表面粗糙度的测量可以参考此方法。

标准号：GB/T 31227-2014

标准名称：原子力显微镜测量溅射薄膜表面粗糙度的方法

英文名称：Test method for the surface roughness by atomic force microscope for sputtered thin films

标准类型：国家标准

标准性质：推荐性

标准状态：现行

发布日期：2014-09-30

实施日期：2015-04-15

中国标准分类号（CCS）：机械>>机械综合>>J04基础标准与通用方法

国际标准分类号（ICS）：计量学和测量、物理现象>>长度和角度测量>>1704020表面特征

起草单位：上海交通大学、纳米技术及应用国家工程研究中心

归口单位：全国纳米技术标准化技术委员会(SAC/TC279)

发布单位：国家质量监督检验检疫