GB/T29557-2013表面化学分析深度剖析溅射深度测量

本标准规定了溅射深度剖析中测量溅射深度的准则。本标准适用于结合离子轰击剥离部分固体样品的表面化学分析技术,通常溅射深度可达几微米。

标准号：GB/T 29557-2013

标准名称：表面化学分析 深度剖析 溅射深度测量

英文名称：Surface chemical analysis—Depth Profiling—Measurment of sputtered depth

标准类型：国家标准

标准性质：推荐性

标准状态：现行

发布日期：2013-07-19

实施日期：2014-03-01

中国标准分类号（CCS）：化工>>化工综合>>G04基础标准与通用方法

国际标准分类号（ICS）：化工技术>>分析化学>>7104040化学分析

起草单位：中山大学、浙江大学、中国科学院大连化学物理研究所。

归口单位：全国微束标准化技术委员会(SAC/TC 38)

发布单位：国家质量监督检验检疫