GB/T26307-2010银靶

本标准规定了银靶的要求、试验方法、检验规则和标志、包装、运输、贮存及质量证明书与订货单(或合同)内容。本标准适用于半导体器件用的各类银溅射靶材(以下简称银靶)。其他用途的靶材也可参照使用。

标准号：GB/T 26307-2010

标准名称：银靶

英文名称：Silver target

标准类型：国家标准

标准性质：推荐性

标准状态：现行

发布日期：2011-01-14

实施日期：2011-11-01

中国标准分类号（CCS）：冶金>>有色金属及其合金产品>>H68贵金属及其合金

国际标准分类号（ICS）：冶金>>有色金属>>7712099其他有色金属及其合金

起草单位：北京有研亿金新材料股份有限公司

归口单位：全国有色金属标准化技术委员会(SAC/TC 243)

发布单位：国家质量监督检验检疫