GB/T22462-2008钢表面纳米、亚微米尺度薄膜素深度分布的定量测定辉光放电原子发射光谱法

本标准采用辉光放电原子发射光谱法用于定量测定钢表面纳米、亚微米尺度薄膜（金属镀膜和氧化膜）中膜厚、镀层质量（单位面积）和薄膜中的元素深度分布。本方法适用于测定3nm～1000nm厚度的钢表面薄膜，适用的元素包括：铁、铬、镍、铜、钛、锰、铝、碳、磷、氧、氮和硅。

标准号：GB/T 22462-2008

标准名称：钢表面纳米、亚微米尺度薄膜 素深度分布的定量测定 辉光放电原子发射光谱法

英文名称：Nano Sub-micron scale film on steel - Quantitative depth profile analysis - Glow discharge atomic emission spectrometry

标准类型：国家标准

标准性质：推荐性

标准状态：现行

发布日期：2008-10-30

实施日期：2009-06-01

中国标准分类号（CCS）：化工>>化工综合>>G04基础标准与通用方法

国际标准分类号（ICS）：计量学和测量、物理现象>>17180光学和光学测量

起草单位：宝山钢铁股份有限公司、中国科学院物理研究所、中国科学院化学研究所、冶金工业信息标准研究院

归口单位：全国微束分析标准化技术委员会(SAC/TC 38)

发布单位：国家质量监督检验检疫